第三百三十六章 风向变了(3/11)
到明显的差距。
这个时候,跟着徐申学一起过来考察的海湾科技的CEO王道林道:“我们的HDUV-600型光刻机和ASML的NXT1980光刻机在核心的三大硬性指标上都是一样的。”
“分辨率都是38纳米,数值孔径一点三五,套刻精度都是二点五纳米。”
“这三大核心指标也是做等效七纳米工艺的硬性指标,少一个都不行。”
“不过除了这三个核心指标外,还有一个指标上我们的HUDV-600光刻机就存在一些差距了,那就是WPH,即每小时处理晶圆片的数量。”
“这个数据越大,光刻机单位时间内的产量就越大,产量越大,生产效率越高!”
“作为对比,ASML的NXT1980光刻机,其WPH是二百七十五片。”
“我们的HDUV-600光刻机的WPH,设计指标差一些,只有两百四十五片。”
徐申学听罢:“这差距不小啊,回头落到生产过程里,那么就会导致生产成本的上涨!”
王道林道:“是有一些差距,不过这也是没办法的事,我们时间太紧迫了!”
“ASML的NXT1980光刻机,是基于全新研发的机台构架搞出来的,一开始的目的就是奔着更高的生产效率来的,再加上他们的技术积累更深厚,所以搞出来的NXT1980生产效率极高。”
“而我们的HUDV-600型号光刻机,虽然也是采用新研发的机台构架,但是为了赶进度,采取了一些更加保守的技术应用策略,也大量使用了HDUV-500/400型光刻机机台上的技术。”
“这样的研发进度更快,才能够在去年底拿出来样机,然后争取明年秋季开始出货。”
“但是这样也导致了HDUV-600光刻机的生产效率就稍微低一些。”
王道林这个时候,也看了眼同样关注此事的丁成军,开口继续道:“不过我们的HDUV-600的光刻机卖的更便宜,售后服务费用更低,最终反馈到芯片成本上,虽然会有一些上涨,但是也不会涨太多,属于可接受的范围。”
“总归是不会让我们的客户吃亏的!”
王道林的意思